超精密拋光對拋光機中磨盤(pán)的材料構成和技術(shù)要求近乎苛刻，這種由特殊材料合成的鋼盤(pán)，液壓拉面機不僅要滿(mǎn)足自動(dòng)化操作的納米級精密度，更要具備的熱膨脹系數。當拋光機處在高速運轉狀態(tài)時(shí)，如果熱膨脹作用導致磨盤(pán)的熱變形，基片的平面度和平行度就無(wú)法保證。而這種不能被允許發(fā)生的熱變形誤差不是幾毫米或幾微米，而是幾納米。